光散乱式粒子计数仪（采用激光或白光光源）主要是求出浮游在超净间等清洁空间中浮游粒子的每个单位体积的个数浓度。从得到的数据里可以得出其测试范围(粒径通道)的个数。

首先粒子计数仪由内部吸气泵或外部采样泵以一定的比例进行气体(一般的超净间为室内空气)采样。当采样气体中的粒子通过光源（激光）等收束的光束时，产生光散乱现象。光散乱通过光电变换器变为电信号(脉冲)，粒子越大得出该脉冲信号就越大(波峰值)，通过此时的波峰值和脉冲数就可得出每个粒径的个数浓度。即通过测试散乱光的数量和强度，得出实时测试数据。

凝聚核法粒子计数仪(CNC)工作原理（MODEL 3851）

普通光散乱式粒子计数仪无法检测到超净间内漂浮的0.1um以下的超微粒子。只能采取凝聚核法进行测试。采用高温酒精蒸汽与被测空气混合达到过饱和状态。超微粒子在过饱和酒精蒸汽氛围中成为凝聚核，粒子径增大后即可检测出来。

CNC具有较高的采样效率，因而可以在短时间内高效率的检测到超净间内的粒子浓度。

光散乱法测试（白光、激光）、    显微镜法测试、    称重法测试、    DMA法测试（粒径分析仪）、惯性法测试、    扩散法测试、   凝聚核法测试(CNC)等

小流量 0.1cfm(2.83L/min)     大流量 1cfm(28.3L/min)

手持式、台式

单通道（只测某一种粒子径）；双通道（测试某两种粒子径）； 多通道（测试多种粒子径）